Svájci mérőműszerek

TR Scan Premium Pack 3D

Érintésmentes felületi mérés, nanométeres precizitás

A TR Scan Premium lehetővé teszi a legérzékenyebb felületek mérését is, elképesztő sebességgel és pontossággal. Sok esetben elkerülhetetlenné vált a hi-tech alkalmazásoknál, amikor a hagyományos érintéses mérés elérte a határait. Orvostechnikai eszközök, protézisek, ostyák, MEMS, félvezetők, fémrétegek lerakódásai, polimerfilmek, optikai alkatrészek, kutatás és fejlesztés, minőségellenőrzés - ezek a TR Scan Premium szakterületei.

A kivételesen nagy mérési sebesség és a nanométeres pontossági tartomány a TR Scan fő előnye. A háromdimenziós kép felvételéhez mindössze néhány mikromásodpercre van szükség.

  • Érintésmentes
  • Kivételes mérési sebesség
  • Nanométeres felbontás
  • Korszerű szoftver
  • Előre programozott mérési sablonok
  • Kompatibilis a 2D és 3D szabványokkal
  • Cserélhető optika, vagy karusszelre szerelve

Műszaki részletek

Műszaki adatokCCM-L1 0.2mmCCM-L1 1mmCCM-L1 4mm
Függőleges mérési tartomány200 µm0,95 mm3,9 mm
Vonalszélesség0,96 mm ± 0,01 mm1,91 mm ± 0,01 mm4,78 mm ± 0,02 mm
Oldalirányú távolság5 µm10 µm25 µm
Munkatávolság5,3 mm ± 0,2 mm
18,5 mm ± 0,2 mm
41 mm ± 0,2 mm 
Spot méret2 µm4 µm10 µm
Oldalirányú felbontás1 μm2 µm5 µm
Pontosság± 80 nm± 300 nm± 1,2 µm
Digitális nyitás0.70.550.33
Maximális mérési szög90°+/-44°90°+/-33°90°+/-20°
Vastagság mérési tartomány20 μm - 280 μm75 μm - 1,35 mm300 μm - 5,5 mm
Minimális Ra mérés 1)< 0.1 µm< 0.8 µmNA