TR Scan Premium Pack 3D
Érintésmentes felületi mérés, nanométeres precizitás
A TR Scan Premium lehetővé teszi a legérzékenyebb felületek mérését is, elképesztő sebességgel és pontossággal. Sok esetben elkerülhetetlenné vált a hi-tech alkalmazásoknál, amikor a hagyományos érintéses mérés elérte a határait. Orvostechnikai eszközök, protézisek, ostyák, MEMS, félvezetők, fémrétegek lerakódásai, polimerfilmek, optikai alkatrészek, kutatás és fejlesztés, minőségellenőrzés - ezek a TR Scan Premium szakterületei.
A kivételesen nagy mérési sebesség és a nanométeres pontossági tartomány a TR Scan fő előnye. A háromdimenziós kép felvételéhez mindössze néhány mikromásodpercre van szükség.
- Érintésmentes
- Kivételes mérési sebesség
- Nanométeres felbontás
- Korszerű szoftver
- Előre programozott mérési sablonok
- Kompatibilis a 2D és 3D szabványokkal
- Cserélhető optika, vagy karusszelre szerelve
Kapcsolódó termékek
Dokumentáció
Kapcsolódó alkalmazások
Műszaki részletek
Műszaki adatok | CCM-L1 0.2mm | CCM-L1 1mm | CCM-L1 4mm |
---|---|---|---|
Függőleges mérési tartomány | 200 µm | 0,95 mm | 3,9 mm |
Vonalszélesség | 0,96 mm ± 0,01 mm | 1,91 mm ± 0,01 mm | 4,78 mm ± 0,02 mm |
Oldalirányú távolság | 5 µm | 10 µm | 25 µm |
Munkatávolság | 5,3 mm ± 0,2 mm | 18,5 mm ± 0,2 mm | 41 mm ± 0,2 mm |
Spot méret | 2 µm | 4 µm | 10 µm |
Oldalirányú felbontás | 1 μm | 2 µm | 5 µm |
Pontosság | ± 80 nm | ± 300 nm | ± 1,2 µm |
Digitális nyitás | 0.7 | 0.55 | 0.33 |
Maximális mérési szög | 90°+/-44° | 90°+/-33° | 90°+/-20° |
Vastagság mérési tartomány | 20 μm - 280 μm | 75 μm - 1,35 mm | 300 μm - 5,5 mm |
Minimális Ra mérés 1) | < 0.1 µm | < 0.8 µm | NA |