瑞士测量仪器

TR Scan Compact WLI 光学测量仪

高精度非接触式表面测量

TR Scan Compact WLI 系列可对任何类型的材料进行亚纳米分辨率的测量。
,使用简单,体积小,可轻松集成到实验室环境中,实现快速简单的测量。

WLI(While Light Interferometry)技术与压电电机相结合,可实现极快的测量速度。
工作台可手动移动,工件重达 5 公斤。
可选配电动工作台,以扩展 X&Y 测量范围。

  • 非接触式
  • 占地面积小
  • 测量范围 400 微米
  • 分辨率 0.1 纳米
  • 使用极为方便
  • 2.5x 和 5x 米歇尔森型光学镜头,视野开阔
  • 可更换光学镜组,或安装在转盘上

技术细节

WLI 2.5xWLI 5xWLI 10x WLI 20xWLI 50xWLI 100x
决议0.1 纳米0.1 纳米0.1 纳米0.1 纳米0.1 纳米0.1 纳米
横向分辨率(X/Y)4.81 微米4.81 微米1.2 微米0.9 微米0.66 微米0.52 微米
测量范围400 微米400 微米400 微米400 微米400 微米400 微米
测量范围 X/Y~4536 µm
x
~3447 µm
~2268 µm
x
~1723 µm
~1134 µm
x
~861 µm
~567 µm
x
~430 µm
~226 µm
x
~172 µm
~113 µm
x
~86 µm
光学变焦2.5x5x10x20x50x50x
工作距离~10.3 毫米~9.3 毫米~7.4 毫米~4.7 毫米~3.4 毫米~3.4 毫米

机型

规格价值观条件
01温度范围0 à 50 [°C]
02渠道2
03决议0.01 [°C]
04准确性±0.5 [°C]带 2 点校准和温度基准:20°C
05通信协议USB 或串行通信默认为 USB
06电源从 USB 或串行接口
07电源0.5 [W]有 4 种传感器配置
08尺寸82 x 102 x 36 [毫米]无传感器
09重量350 [g]无传感器
温度温度传感器
10传感器类型PT100LP2-PT100D-3.0-4L
11电缆长度3 [m]
12宽容DIN EN 60751 等级 1/3 DIN
串行通信配置
13波特率9600 [比特/秒]
148
15奇偶校验
参考资料模型光学手动表格电动工作台
TR Scan Compact WLI 光学测量仪
700 403 10 31TR 扫描 C. WLI MA 73×555 倍、20 倍75×33
700 403 10 34TR 扫描 C. WLI MO 75×505 倍、20 倍75×50
700 403 10 35TR 扫描 C. WLI MO 100×1005 倍、20 倍100×100
TR 扫描紧凑型 WLI 多目标(旋转木马)
700 406 10 32TR 扫描 E. WLI MA 73×555倍、10倍、50倍73×55
700 406 10 36TR Scan E. WLI MO 75×505倍、10倍、50倍75×50
700 406 10 37TR 扫描 E. WLI MO 100×1005倍、10倍、50倍100×100