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TR Scan Premium Oberflächenmessgerät trimos

Das TR Scan Premium erlaubt eine sehr rasche Messung der empfindlichsten Oberflächen. Es wurde mehrmals als Referenzgerät bei Hightech-Applikationen gewählt, besonders wo Kontaktmessungen nicht mehr ausreichend sind. Medizinische Geräte, Prothesen, Wafers, MEMS, Halbleiter, Coatings, Dünnschichten, optische Komponente, Forschung & Entwicklung und Qualitätskontrolle sind die Hauptgebiete des TR Scan Premium.

Das Herz des Systems, Trimos DHM® (Digital Holographic Microscopy), ist von einer Technologie, die im biomedizinischen Bereich eingesetzt wird, abgeleitet. Das System selbst basiert auf den physikalischen Eigenschaften des Hologramms für die Erstellung der Topographie der analysierten Oberfläche. Diese Technologie für das Messen industrieller Oberflächen wird ausschliesslich von Trimos eingesetzt. Sie unterscheidet sich von den Konkurrenzprodukten insbesondere durch die Möglichkeit extrem reflektierende, spiegelpolierte oder sehr kleine Oberflächen prüfen zu können.

Eine äusserst hohe Messgeschwindigkeit verbunden mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich bilden die Hauptvorteile der TR Scan Geräte. Es werden nur einige Mikrosekunden für die Erfassung einer dreidimensionalen Abbildung benötigt. Diese aussergewöhnliche Erfassungsgeschwindigkeit erlaubt es, alle Probleme zurückführbar auf Vibrationen, den traditionellen Feind der Mehrheit aller optischen Messsysteme, zu ignorieren. Die genannten Vorteile ergeben eine erhöhte Produktivität und eine begrenzte Investition.

  • Aussergewöhnliche Messgeschwindigkeit
  • Unempfindlich gegen Vibrationen
  • Vertikale Auflösing im Nanometer
  • Einfache Positionierung des Teiles dank Laserausrichtung (DHM)
  • Berührungsloses, nicht zerstörendes Messen
  • Software an der Spitze der Technologie
  • Vorprogrammierte Prüfmodelle
  • Kompatibel mit 2D- und 3D-Normen

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Anwendungsbeispiele

Technische Daten

TR Scan Premium
101 301
Horizontaler Messbereich X
mm - 100
Horizontaler Messbereich Y
mm - 100
Vertikaler Messbereich Z
mm 240
Auflösung des Messsystems XYZ
µm 0.1
Positionierfehler XYZ
µm 1
Geradheit der Linearführungen XY
µm 0.3
Max. Gewicht des Teiles
kg 20

Messköpfe
DHM S1 DHM S2 CCM P1 DIA P1
Auflösung, vertikal (Z)
nm 0.1 0.1 8 ÷ 780 10
Auflösung, lateral (XY)
µm 0.6 0.6 0.9 ÷ 14 1
Typischer max. Messbereich Ra
µm 0.4 1.6 0.012 ÷ 200 20
Messbereich, Vertikal µm 3 7 130 ÷ 24000 350
Fehlergrenzen % 1% 1% 1% ÷ 5% 5%
Wiederholbarkeit (Ra, 1σ)
nm <0.1 <0.1 <5 ÷ 25 9
Teile-Reflexionskraft % <1% ÷ 100% <1% ÷ 100% 1% ÷ 100% -
Visionsfeld mm 0.25 x 0.25 0.25 x 0.25 - -









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