TR Scan Premiuem Pack 3D

Mesure de surface sans contact, précision nanométrique

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TR Scan Premium permet de mesurer les surfaces les plus sensibles avec une rapidité et une précision étonnantes. Il est devenu incontournable dans de nombreux cas pour les applications de haute technologie, lorsque la mesure traditionnelle par contact a atteint ses limites. Appareils médicaux, prothèses, wafers, MEMS, semi-conducteurs, dépôts de couches métalliques, films polymères, composants optiques, recherche et développement, contrôle qualité, sont les domaines d'expertise du TR Scan Premium.

La vitesse de mesure exceptionnellement élevée associée à une précision de l'ordre du nanomètre constituent les principaux avantages du TR Scan. Quelques microsecondes seulement sont nécessaires pour l'acquisition d'une image tridimensionnelle.

Sans contact
Vitesse de mesure exceptionnelle
Résolution nanométrique
Logiciel de pointe
Modèles de mesure préprogrammés
Compatible avec les normes 2D et 3D
Optiques interchangeables ou montées sur un carrousel

Extension de garantie

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Documentation

Spécifications techniques Modèles Vidéos

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Données techniques

Spécifications	CCM-L1 0,2mm	CCM-L1 1mm	CCM-L1 4mm
Plage de mesure verticale	200 µm	0,95 mm	3,9 mm
Largeur de la ligne	0,96 mm ± 0,01 mm	1,91 mm ± 0,01 mm	4,78 mm ± 0,02 mm
Espacement latéral	5 µm	10 µm	25 µm
Distance de travail	5,3 mm ± 0,2 mm	18,5 mm ± 0,2 mm	41 mm ± 0,2 mm
Taille du spot	2 µm	4 µm	10 µm
Résolution latérale	1 µm	2 µm	5 µm
Précision	± 80 nm	± 300 nm	± 1,2 µm
Ouverture numérique	0.7	0.55	0.33
Angle de mesure maximal	90°+/-44°	90°+/-33°	90°+/-20°
Plage de mesure de l'épaisseur	20 μm - 280 μm	75 μm - 1,35 mm	300 μm - 5,5 mm
Mesure Ra minimale 1)	< 0.1 µm	< 0.8 µm	NA