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Le TR Scan Premium permet la mesure des surfaces les plus sensibles avec une rapidité et une précision époustouflantes. Il s’est imposé à de nombreuses reprises pour des applications hi-tech, lorsque la mesure traditionnelle par contact a atteint ses limites. Appareils médicaux, prothèses, wafers, MEMS, semi-conducteurs dépôts de couches métalliques, films polymères, composants optiques, recherche et développement, contrôle qualité sont les domaines de prédilection du TR Scan premium.

Le coeur du système est dérivé d’une technologie éprouvée dans le domaine biomédical: Trimos DHM® (Digital Holographic Microscopy). Elle se base sur les propriétés physiques de l’hologramme pour reconstituer la topographie des surfaces analysées. Cette technologie est mise en oeuvre de manière exclusive par Trimos pour la mesure de surfaces industrielles. Elle se distingue particulièrement de ses concurrentes pour des surfaces très réfléchissantes ou polies miroir ou de très petite taille.

Une rapidité de mesure extrême alliée à une précision nanométrique constituent les atouts majeurs des instruments TR Scan Premium. Il suffit en effet de quelques microsecondes pour capturer une image tridimensionnelle. Cette vitesse d’acquisition exceptionnelle permet de s’affranchir de tous les problèmes liés aux vibrations, ennemis traditionnels de la majorité des systèmes de mesure optiques. Ces avantages en terme de rapidité de mesure se traduisent par une productivité levée et un investissement limité (pas de protection anti-vibration nécessaire).

  • Rapidité de mesure exceptionnelle
  • Insensible aux vibrations
  • Résolution verticale nanométrique
  • Positionnement aisé de la pièce grâce à un pointage laser (dhm)
  • Mesure sans contact non destructrice
  • Software à la pointe de la technologie
  • Modèles de mesure préprogrammés
  • Compatible avec normes 2d et 3d

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Applications

Données techniques

TR Scan Premium
101 301
Etendue de mesure horizontale X mm - 100
Etendue de mesure horizontale Y mm - 100
Etendue de mesure verticale Z mm 240
Résolution du système de mesure XYZ
µm 0.1
Résolution de positionnement XYZ
µm 1
Rectitude des guidages linéaires XY
µm 0.3
Poids max. de la pièce
kg 20
 
Têtes de mesure
DHM S1 DHM S2 CCM P1 DIA P1
Résolution verticale max. (Z) nm 0.1 0.1 8 ÷ 780 10
Résolution horizontale max. (XY) µm 0.6 0.6 0.9 ÷ 14 1
Etendue de mesure typique Ra µm 0.4 1.6 0.012 ÷ 200 20
Etendue de mesure verticale
µm 3 7 130 ÷ 24000 350
Erreurs max tolérées Ra
% 1% 1% 1% ÷ 5% 5%
Répétabilité (Ra, 1σ)
nm <0.1 <0.1 <5 ÷ 25 9
Réflectivité de l'echantillon
% <1% ÷ 100% <1% ÷ 100% 1% ÷ 100% -
Champ de vue
mm 0.25 x 0.25 0.25 x 0.25 - -