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TR Scan Premiuem Pack 3D
Berührungslose Oberflächenmessung, nanométrique Präzision
TR Scan Premium ermöglicht die Messung der empfindlichsten Oberflächen mit verblüffender Geschwindigkeit und Präzision. Er ist in vielen Fällen für High-Tech-Anwendungen unverzichtbar geworden, wenn die traditionelle Messung durch Berührung an ihre Grenzen stößt. Medizinische Geräte, Prothesen, Wafer, MEMS, Halbleiter, Ablagerungen von Metallschichten, Polymerfilme, optische Komponenten, Forschung und Entwicklung, Qualitätskontrolle, sind die Fachgebiete von TR Scan Premium.
Die außergewöhnlich hohe Messgeschwindigkeit in Verbindung mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich sind die Hauptvorteile des TR Scan. Nur wenige Mikrosekunden werden für die Aufnahme eines dreidimensionalen Bildes benötigt.
- Berührungslos
- Außergewöhnliche Messgeschwindigkeit
- Nanometrische Auflösung
- Software auf dem neuesten Stand der Technik
- Vorprogrammierte Messvorlagen
- Kompatibel mit 2D- und 3D-Standards
- Austauschbare Optiken oder auf einem Karussell montiert
Erweiterte Garantie
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Dokumentation
Technische Spezifikationen
| Spezifikationen | CCM-L1 0,2 mm | CCM-L1 1mm | CCM-L1 4mm |
|---|---|---|---|
| Vertikaler Messbereich | 200 µm | 0,95 mm | 3,9 mm |
| Linienbreite | 0,96 mm ± 0,01 mm | 1,91 mm ± 0,01 mm | 4,78 mm ± 0,02 mm |
| Seitliche Abstände | 5 µm | 10 µm | 25 µm |
| Arbeitsabstand | 5,3 mm ± 0,2 mm | 18,5 mm ± 0,2 mm | 41 mm ± 0,2 mm |
| Spotgröße | 2 µm | 4 µm | 10 µm |
| Seitliche Auflösung | 1 µm | 2 µm | 5 µm |
| Genauigkeit | ± 80 nm | ± 300 nm | ± 1,2 µm |
| Digitale Öffnung | 0.7 | 0.55 | 0.33 |
| Maximaler Messwinkel | 90°+/-44° | 90°+/-33° | 90°+/-20° |
| Dickenmessbereich | 20 μm - 280 μm | 75 μm - 1,35 mm | 300 μm - 5,5 mm |
| Minimale Ra-Messung 1) | < 0.1 µm | < 0.8 µm | NA |
