TR Scan Premiuem Pack 3D

非接触式表面测量，纳米精度

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TR Scan Premium 能以惊人的速度和精度测量最敏感的表面。在许多高科技应用中，当传统的接触式测量已达到极限时，这种测量就变得不可避免。医疗器械、假肢、晶片、微机电系统（MEMS）、半导体、金属层沉积、聚合物薄膜、光学元件、研发、质量控制等都是 TR Scan Premium 的专业领域。

超高的测量速度和纳米级的精度范围是 TR 扫描仪的主要优势。只需几微秒即可获得三维图像。

非接触式
卓越的测量速度
纳米分辨率
最先进的软件
预编程测量模板
兼容 2D 和 3D 标准
可更换光学镜组，或安装在转盘上

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技术细节

规格	CCM-L1 0.2 毫米	CCM-L1 1 毫米	CCM-L1 4 毫米
垂直测量范围	200 微米	0.95 毫米	3.9 毫米
线宽	0.96 毫米 ± 0.01 毫米	1.91 毫米 ± 0.01 毫米	4.78 毫米 ± 0.02 毫米
横向间距	5 微米	10 微米	25 微米
工作距离	5.3 毫米 ± 0.2 毫米	18.5 毫米 ± 0.2 毫米	41 毫米 ± 0.2 毫米
斑点大小	2 微米	4 微米	10 微米
横向分辨率	1 微米	2 微米	5 微米
准确性	± 80 纳米	± 300 纳米	± 1.2 微米
数字开放	0.7	0.55	0.33
最大测量角度	90°+/-44°	90°+/-33°	90°+/-20°
厚度测量范围	20 μm - 280 μm	75 μm - 1.35 mm	300 μm - 5.5 mm
最小 Ra 测量值 1)	< 0.1 µm	< 0.8 µm	NA

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